液晶制造装置用精密XYθ平台 

 

       

 

 

         规格

             行程：690×1, 550mm

            　尺寸：1,600×1,660mm

　            定位时间：400msec

　            最高速度：500mm/sec

　            真直度（垂直/水平）

　             X轴：±1.2μm、 ±1.13μm 

              Y轴： ±2μm、 ±0.63μm 　　　

             速度稳定性：±0.1%（35mm/sec时）

             采样周波数：100Hz

源链接：https://www.chi-win.com/Projects/yjzzypt.html