安川变频器应用于半导体真空泵行业

时间:2024-01-03 作者:admin

应用介绍

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。我们日常生活中的电子产品,如计算机、移动电话等当中的核心单元都和半导体有着极为密切的联系。

 

在半导体制造的多个工艺环节中,包括刻蚀、镀膜等等。为了提高半导体制造过程的精度和均匀性,半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。而获得真空 环境所需的设备即为真空泵。

 

半导体用干式真空泵设备

 

 

半导体用真空泵一般容易存在启动、加速响应慢,抽速不够稳定;运行效率不高;开放大气时易发生过载、过流故障而停机;面对雷雨季节及供电环境不好时, 易因瞬时停电或电压暂降而造成真空泵停机,造成半导体生产损失。

源链接:https://www.yaskawa.com.cn/product/apply_detail.aspx?id=17